当前位置:主页 > 资讯中心 > 半导体废气处理方法_电子半导体厂废气处理方法有哪些?

半导体废气处理方法_电子半导体厂废气处理方法有哪些?

环保领域专家
  • 华美平台环保
  • 擅长:半导体废气处理工艺技术,专注环保领域19年

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。下面华美平台环保公司为您介绍半导体废气处理方法:

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

新材料行业与传统材料相比,新材料产业具有技术高度密集,研究与开发投入高,产品的附加值高,生产与市场的国际性强,以及应用范围广,发展前景好等特点,其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济,社会发展,科技进步和国防实力的重要标志,世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。

作为新材料产业的代表之一,半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

RTO蓄热式焚烧炉设备,简称“RTO设备”,是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气,虽然采用高温700℃的温度进行废气处理,但其实消耗的能源并不多,这是因为设备能够将热能回收利用,大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

RTO设备

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法,通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后,再用直接燃烧法进行销毁,废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧,它是把VOCs可燃组分直接烧掉,因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气;多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中,只要浓度值适宜,也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限,可以混入空气后燃烧;如果可燃组分的浓度低于燃烧下限,则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等,维持燃烧。


本文内容仅供参考,以实际情况为准。欢迎对本文进行纠错改正。联系我们:400-25457-258 / 138-1245-8578(同微信)

半导体生产工厂会产生什么尾气?有哪些有害尾气?

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等L域有广泛应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓...

半导体一氧化二氮尾气如何处理?工业一氧化二氮尾气处理方法

随着信息技术行业的快速发展,一氧化二氮( N2O)作为现代半导体、微电子、光电子和大型集成电路以及光纤制造L域重要的基础原料,需求量随之增长,被称为IT产业的“粮食”,它属于氮氧...

半导体尾气有毒有污染吗?半导体厂的尾气处理有危险吗?

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了H...

什么是泛半导体?泛半导体是什么意思?发展趋势是怎么样的?

什么是泛半导体?泛半导体产业是指包括集成电路、平板显示、LED、太阳能电池、分立器件以及半导体设备材料产业的一个统称。...

芯片半导体是什么行业?半导体行业是做什么的?

半导体,顾名思义就是导电性介于导体和绝缘体之间的一类物体。通过杂质的掺入而改变材料的导电性能,这便是半导体技术的底层基础。 ...

什么是半导体?半导体是什么意思什么东西什么元素?

随着中国半导体产业的发展,中国的半导体材料也在逐渐发生变化,已经从第yi代半导体材料过渡到第三代半导体材料。那么,什么是半导体?半导体是什么意思,什么东西,又是什么元素?...

半导体废气治理有哪些特点?半导体行业废气几大特点介绍

半导体废气治理有哪些特点?下面就半导体行业废气来源种类,华美平台环保公司结合自家公司案例为你分享如下半导体常见的双极管之一的NPN三极管流程主要工艺有:氧化、光刻、N型外延、...

半导体废气处理哪家好?半导体废气处理哪家公司服务好?

随"芯"而生,同"芯"发展。华美平台环保,半导体行业废气治理环保达标和生产稳定运行守护者!华美平台环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于...

中芯绍兴半导体制程排气废气治理系统工程

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司(中芯绍兴,SMEC)成立于2018年3月,总部位于浙江绍兴,主要工艺平台是从中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)授权转移而来的MEMS,IGBT和MOSFET。是一家专...

半导体厂尾气处理方法有哪些?半导体尾气成分及工艺及处理器

一想到半导体行业,大家想到的是机械生产,高端材料,电子电器,与污染两个字似乎也没有什么关系。但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机物和无机物,包括许多有毒有害物质,对环...